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（开首：IT之家）

IT之家 11 月 26 日音讯，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）昨日告示：公司自主研发的首台 350nm 步进光刻机（AST6200）细致完成出厂调试与验收，动身发往客户现场。

芯上微装暗意，这标识着我国在高端半导体光刻诞生畛域再次收尾关节报复！这不仅是一次家具的请托，更是国产半导体装备向高端化、自主化迈进的进攻里程碑。

据官方先容，AST6200 光刻机是芯上微装基于多年光学系统蓄意、精密畅通斥逐与半导体工艺相识积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻诞生，专为功率、射频、光电子及 Micro LED 等先进制造场景量身定制。

▲ 芯上微装首台 350nm 步进光刻机（AST6200） 中枢肠能亮点

高分手率成像餍足先进工艺需求，搭载大数值孔径投影物镜，勾通多种照明模式与可变光瞳本领，收尾 350nm 高分手率，餍足现时主流化合物半导体芯片的光刻工艺条目。

高精度套刻建立高精度瞄准系统，收尾正面套刻 80nm，后头套刻 500nm，确保多层图形精确套刻，普及器件良率。

高产率蓄意，显贵缩短领有老本（COO）：

强工艺相宜性，兼容多材质、多花样基底：

100% 软件自主可控打造全栈国产生态：AST6200 搭载芯上微装自主研发的全栈式软件斥逐系统体育游戏app平台，从底层启动到表层工艺解决，收尾齐全自主主权，且具备弘远的工艺推广性与而已运维才气。

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